| 日 時 | 平成30年10月19日（金） 13：30～17：00 | |||||||||||||
| 会 場 | （地独）大阪産業技術研究所 森ノ宮センター ４階 小講堂 （大阪市城東区森之宮1-6-50） | |||||||||||||
| 講演内容 |
ＨｉＰＩＭＳ法による成膜技術の動向と応用
13：30～15：00
首都大学東京大学院 助教 清水 徹英 氏
高電力インパルスマグネトロンスパッタリング法を用いた機能性皮膜の成膜技術に関する講演 |
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神戸製鋼所におけるドライプロセス技術の発展と産業応用
15：20～16：50
株式会社神戸製鋼所 機械事業部門 産業機械事業部
高機能商品部 技術室 プロセス・制御グループ グループ長 沖本 忠雄 氏 AIPやUBMSなど神戸製鋼所が開発してきたドライプロセス技術の歴史と最近の技術動向や問題点に関する講演 |
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| 参加費 |
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| 申込締め切り | 平成30年10月10日（水） | |||||||||||||
| 定 員 | ６０名 （先着順、定員に達し次第締切） | |||||||||||||
| 申込方法 |
参加ご希望の方は、こちらよりお申込み下さい。 推奨 あるいは、FAXまたはメールに「（一社）表面技術協会関西支部表面物性研究会参加希望」と題記し、 氏名・勤務先・所在地・電話番号・所属学会（表協・協賛団体）を明記の上、下記宛までお申込みください。 (一社)表面技術協会 関西支部 事務局 （担当：石川・森） 〒606-0805 京都市左京区下鴨森本町15番地 TEL：075-781-1107 FAX：075-791-7659 E-mail：  参加費は当日受付でお支払い下さい。 |
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